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2026

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镜筒定位面平面度对光学镜片形变的白光干涉测量研究

摘要光学镜筒定位面平面度直接影响镜片装配精度，易引发镜片微观形变，进而降低光学系统成像质量。白光干涉测量技术凭借非接触、纳米级分辨率优势，可精准表征定位面平面度与...

12

2026

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05

基于白光干涉测量的微流控封装平面度对芯片基底贴合性能研究

摘要微流控芯片作为生物医学检测、化学分析等领域的核心精密器件，其封装平面度直接决定芯片基底贴合紧密性，进而影响流体流动特性与检测精度。白光干涉测量技术凭借非接触、...

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2026

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05

CMOS芯片共面度偏差，白光干涉测量解决倒装、固晶受力不均

引言CMOS芯片作为半导体封装领域的核心器件，共面度精度直接决定倒装、固晶工序的稳定性，共面度偏差会导致倒装贴合错位、固晶受力不均，进而引发芯片封装失效、可靠性下...

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2026

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05

制程残余应力致CMOS芯片翘曲，白光干涉精准测量方案

引言CMOS芯片在光刻、蚀刻、封装等制程中，易因工艺参数偏差、材料热膨胀系数不匹配产生残余应力，进而导致芯片翘曲，影响倒装、固晶等后续工序稳定性，引发封装失效、信...

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